無油活塞真空泵常見應用領域： 1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
3、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
4、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
怎樣做好無油活塞真空泵的日常維護？
1、設備周圍環境應保持清潔、干燥，通風良好。檢查冷卻水路是否暢通。
2、檢查各潤滑部位的潤滑油是否符合規定。
3、操作人員必須嚴格按操作規程進行操作，巡回檢查發現問題必須及時處理。
4、必要時可報告有關部門進行狀態。
5、每班必須檢查各部緊固螺栓，不得有松動現象，經常檢查真空罐中的液位是否正常有效，并進行必要緊固。
6、隨時檢查真空表、電流表的讀數是否正常。隨時注意觀察設備運轉有無異常聲響或振動。
7、機殼外部清理，請在切斷電源的情況下，用干燥柔軟的抹布清理機殼外部的灰塵污垢，每月至少清理一次。
8、進氣過濾消音器的清洗，過濾消聲器過濾棉的清洗很重要，它直接影響真空泵的流量和壽命，每月至少清洗一次，請將消聲器擰下，拆開消聲器端蓋，取出過濾棉，用清水沖洗干凈，涼干，再安裝好使用。如果不能清洗干凈，請更換過濾棉。
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